SEM像　　［戻る］

EDSの分析機器には通常，二次電子検出器でSEM像（二次電子像）も観察できるようになっており，微細な粘土鉱物や沸石類などの結晶形態も調べられる。

例えば，熱水変質や風化で生じる白色土状のカオリン鉱物（カオリナイト，ディッカイト，ハロイサイトなど。化学組成はいずれもAl₂Si₂O₅(OH)₄の多形）の同定はXRDでも困難で，形態観察が有効である。これには塊状試料を砕いて水で溶いたものをスライドクラスに１滴つけ，それを充分に乾燥させ，炭素蒸着して観察する。

白色土状のカオリン鉱物のカオリナイト（上）とハロイサイト（下）は肉眼などでは区別が困難だが，SEM像による形態観察ではその違いが明瞭である。カオリナイトは主に６角板状で，ハロイサイトは針状である。